为了实现对精密减速器输入端和输出端角位移的精密测量,建立精密减速器角位移测量系统。 对该系统的机械结构、 角度测量及标定方法、基于非线性最小二乘法的误差补偿模型进行研究。 通过“立式筒状”结构和圆光栅角度传感器“前置”避 免了传统检测仪的弱刚度结构和轴系形变对角度测量造成的影响。 使用光电自准直仪与 24 面棱体结合的方式离散标定圆光 栅角度传感器的角位移测量误差,研究基于谐波分析的误差补偿方法,对角坐标进行补偿,进一步消除误差。 实验结果显示,通 过优化检测仪的结构设计,角位移测量精度达到±7″;误差补偿后,角位移最终测量精度达到±2″,满足减速器角位移测量的高精 度要求,对类似测角系统也有参考价值。