1.中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室 太原 030051;2.中北大学半导体与物理学院 太原 030051; 3.中北大学仪器与电子学院 太原 030051
TH742;TN0
国家重点研发计划项目(2022YFC2204104)、国家自然科学基金国际合作与交流项目(62220106012)、山西省杰出青年基金(20210302121007)、山西省量子传感与精密测量国际联合实验室项目(202204041101015)资助
1.State Key Laboratory of Dynamic Measurement Technology, North University of China,Taiyuan 030051,China; 2.School of Semiconductor and Physics, North University of China,Taiyuan 030051,China; 3.School of Instrument and Electronics, North University of China,Taiyuan 030051,China
曾德超,姚志飞,孙秋园,赵波慧,马宗敏.参数自适应的NC-AFM悬臂控制系统设计[J].电子测量技术,2025,48(16):12-18
复制
