V型MEMS电热执行器技术研究
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作者:
作者单位:

西安明德理工学院,西安,710124

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中图分类号:

TN37

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Research on V-beam MEMS electro-thermal actuator technology
Author:
Affiliation:

Xi’an Mingde Institute of technology, Xi’an,710124,china

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    摘要:

    V型电热执行器结构简单、执行力大、能够输出直线型位移,广泛用于MEMS系统中。本文利用热电效应,对V型电热执行器进行了讨论,得到了执行器上温度分布、最大位移以及阶跃响应时间的理论分析值,并利用有限元分析软件ANSYS进行了仿真验证,结果表明理论分析值和仿真结果保持一致。对执行器的几何参数对器件性能的影响进行研究,搭建测试平台对执行器的性能进行测试,14V电压下可以在4ms内达到稳定的工作状态。

    Abstract:

    V-type electro-thermal actuator is widely used in MEMS system because of its simple structure,large execution force and linear displacement. The thermoelectric effect is used to discuss the V-beam electro-thermal actuator, the theoretical analysis values of temperature distribution, maximum displacement and step response time are obtained, and the simulation results are verified by ANSYS. The result shows that the simulation results are consistent with the theoretical results. And the influence of the geometric parameters on the performance of the device is researched.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

保慧琴,卫霞,李茹. V型MEMS电热执行器技术研究[J].电子测量技术,2021,44(3):45-49

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